业务题材
某中小型半导体器件打造品牌设在长半圆区域,具体研发晶圆和集成块。在研发操作过程中,晶圆切割器和cnc精密机械加工时间段导致很大磨细液工业废水,平均排卸量约50吨。考虑到工业废泥里富含高氨水浓度浮窗物、合金材料阴离子及有机质加上剂,会直接排卸会对环保容易造成造成 影响,品牌急用基本建设正规专业办理生活设施。
废液物质及由来
cnc精密机械加工液生活污水主耍由来于晶圆制作中的电学机械设备cnc精密机械加工(CMP)工艺程序,主耍影响物主要包括:
悬停顆粒物
:二被氧化物硅、被氧化物铝等磨研科粒,粒度分布在0.1-1μm,质量浓度高至2000mg/L。
金属制化合物
:铜、铁、锌等,是来自于打蜡 垫损耗及晶圆外壁合金金属层,铜亚铁离子氧化还原电位约50mg/L。
有机化学修改剂
:主要包括从表面生物剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸性性产品
:pH值起伏较大大,基本上在2-11相互间。
解决方法环节
针对性废液性能,分为“预解决+生物化+宽度解决”结构工序:
调准池
:营养均衡水质检测蓄水量,添加图片酸碱性控制pH至一般的中性。
混疑沉淀物中
:添加PAC(配位碱式氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),弄掉飘浮物和电解质溶液,沉降后SS弄掉率>90%。
崔化氧化反应
:使用Fenton微生物培养基(H₂O₂+Fe²⁺)可降解可挥发更改剂,COD清除率达60%。
生物技术净化处理
:MBR膜生物制品反馈器更加骤可降解余下巧妙物,COD降下来100mg/L接下来。
阳离子变换
:通用型树脂胶吸收铜铝离子,留水铜占比<0.5mg/L。
砂滤+催化活性炭纤维筛选
:以保证有水出明净,以达到《污水渗漏全方位的的水质要求规定》(GB8978-1996)四级要求规定。
终于功能
系统性操作不稳后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴离子<0.3mg/L。
中水回用率达40%,结余不合格排卸,年极大减少电镀废水排卸1.5万吨。
加工的成本约15元/吨,远底于行业内平均水平。