该晶圆打造厂设在苏北区域,主耍研发89英寸半导体行业晶圆,单日污水排出量约800吨。因研发操作过程中采用丰富盐酸做好晶圆蚀刻,使得污一般的水都氟化物有机废气浓度高达模型200-300mg/L,远超国排出细则(10mg/L下面)。
生产废水组成及收入
焦化废水基本来于三的环节:
晶圆蚀刻繁琐流程
:含高盐浓度氟化物(HF)、硝酸银及极富高价属
化工机械装备镜面抛光(CMP)废水处理工艺
:含奈米级硅科粒、生产络合剂
产品清洁废气
:含异丙醇、高锰酸盐指数等巧妙物
解决技艺工作流程
利用"化学物质沉定+混疑沉定+深度.脱水"四级清理平台:
1阶段加工
:污泥脱水氯化钙和氢被氧化钙,造成氟化钙沉垫,氟化物彻底清除率达85%
二级考试办理
:修改PAC(缔合氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),除掉固体态空气固体废弃物
二级除理
:完成多媒介净化器和化学活化炭活性炭吸附,溢水氟化物溶液浓度增强在8mg/L以下的
核心机器设备包涵:pH自然调低模式、斜管发展池、板框板框压滤机(生活污水烘干)。
结果结果
顶目自动运行2年监测方案统计资料凸显:
氟化物评均氧浓度:7.2mg/L(高于中国基准)
COD去掉率:92%
污泥处理水分含量率:≤65%
年二手回收氟化钙副企业产品约150吨,保证材料化灵活运用