该例案出于华中地域二家较大型半导营造行业,主要生產结合控制电路电源芯片。在生產历程中,晶圆清洁、蚀刻等制作工序需运用很多智能级磷酸(色度≥85%),从此存在高浓硫酸浓度含磷废水加工方法。行业本身加工服务设施未能满足需要日渐严厉的减排基准(TP≤0.5mg/L),急要更新升级改装。
废污水组成及来原
废渣处理首要來起源3个节点:晶圆擦洗废渣处理(占总水流量60%)、机器设备喷洗废渣处理(30%)及其砖面喷洗废渣处理(10%)。水质监测特征英文突出表现为:pH值1.5-2.5,总磷分子量800-1200mg/L,氟正离子分子量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并包含微量分析高价属(铜、锌等)。
治疗方案方案
工程选择"预加工+有机化学结晶+高档腐蚀+的深度过虑"的组合成的工艺:
调整池
:均衡教育水质标准用水量,应设pH迅雷在线检测模式
一层反應池
:污泥脱水生石灰粉乳调pH至8.5-9.0,出现Ca3(PO4)2沉定
一级不起作用池
:加PAC和PAM强化木纹地板斜板沉淀池视觉效果
斜板沉积池
:满足固液溶合,活性污泥渗入烘干系统性
Fenton钝化單元
:H2O2与Fe²⁺携手做用分解有机的物
多材质过虑器
:石英晶体砂+可溶性炭组合式进行过滤,切实保障有水出清亮
正离子互相交换设备
:进一个步骤剔除残余物金属材质铁离子
结果英文疗效
操作系统执行可靠后,喷水水质检测:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟阴离子≤5mg/L,各类目标相较于《电子元器件工业园水造成的废弃物排卸原则》(GB 39731-2020)。每一年的削减磷排卸约15吨,污泥处理存在量较傳統加工过程大大减少40%,执行利润控制在8.两元/吨水。