该厂为8屏幕尺寸晶圆生孩子线匹配的超注射用水设备，每一刻导致含硅生活污水150吨。生活污水面虽无高价属，但硅量高易积灰，且功率电阻率需实现18MΩ·cm就可以重工业废水处置。应有处置技术时未符合新颁布实施的《自动化重工业水空气环境有害特性排出准则》（GB39731-2020）非常排出卫生防护距离。 生产废水组成优点和缺点 关键污染源物 ：胶体溶液硅（200-300mg/L）、颗粒状硅（粒度分布0.1-1μm） 特别需要 ：TOC<10μg/L，硼含碳量<5μg/L 水的质量性 ：低导电率（<50μS/cm）但硅氧化物状态有难度 净化处理制作工艺环节 特色化用"梯级膜溶合+电去亚铁离子"组成生产工艺： 微滤预治理 ：1μm瓷质膜过滤大颗粒物硅，通量保证80LMH 亚铁离子互相交换环氧树脂 ：D201大孔环氧树脂选取性溶解硅酸碳原子 五级RO系统化 ：第1段回收处理率60%，第2段所采用高脱硼膜电子器件 EDI电去亚铁离子 ：电压溶解度2A/m²，持续不断出掉残留正离子 紫外光除菌 ：254nm分光光度计线标准容量40mJ/cm² 技术性工作亮点 开发建设用阻硅剂（可挥发胺类pp物），减缓膜感染期限3倍 EDI控制器科技创新流道设定，硅避开率提拔至99.8% 同屏在线硅定性测试仪（衡量面积0.1-500μg/L）完成脱贫有效控制 正常运行成效明显 经三、方检验： 总硅从280mg/L下降0.05mg/L 硼的含量从8μg/L高于0.3μg/L 模式出售率从原40%升降至68% 膜改换生长期加长至5年，年运作成本费降低了35%