南京某光电器件基带芯片开发厂,晶圆代加工步骤中生成含硅、氟的特出电镀废水加工处理工艺,开发工作市场规模1200吨/日。电镀废水加工处理工艺化学成分较为复杂,有微米级硅颗料及盐酸,过去的工作工艺得以考核标准。
生活污水基本成分及源头
注意危害物
:悬浊液硅(100-500nm粒度分布)、氟阴离子(200-300mg/L)、异丙醇
从何而来生产工序
:晶圆刻蚀生活污水(45%)、CMP化学式厂家磨光生活污水(40%)、设施擦拭水(15%)
治理 加工过程方案
特色化用"化学物质沉垫+独特的膜转移"工艺交通路线:
钙盐发展
:添加氯化钙避开氟阴阳离子(转化成CaF2积累)
二沉池作用
:塑料二沉池剂保持氢氧化铁硅脱稳
管式微滤
:0.1μm孔直径膜挪作他用微细顆粒
ro反渗透工作会更装置
:脱盐率>98%,二手回成品率75%
多效蒸发凝结
:浓水段实现目标氟化物零进行排放
后面成效
氟化物盐浓度:<8mg/L(不高于国家地区特级准则10mg/L)
硅含锌量:<5mg/L
污水从而性使用率:70%应用于水凉水塔保湿
危险废物减量化:减压蒸馏渣子量较以往工序极大减少60%